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已知集合 $A=\left\{x \in \mathrm{R} \mid a x^2-3 x+2=0, a \in \mathrm{R}\right\}$.
(1)若 $A$ 是空集, 求 $a$ 的取值范围;
(2)若 $A$ 中只有一个元素, 求 $a$ 的值, 并把这个元素写出来;
(3)若 $A$ 中至少有一个元素, 求 $a$ 的取值范围.
                        
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